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ところで、熊谷製作所で製作してる主要製品というのはステッパーということでよろしいですか。 |
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はい、ステッパーです。 |
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第二品質保証課成検係では、その検査を担当していたということですか。 |
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はい、そのとおりです。 |
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ところで、ステッパーとはどのような機械をいうんでしょうか。 |
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シリコンなどの単結晶をスライスしたウエハ上に、電子回路パターンを焼付け転写する装置でございます。 |
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ステッパー製作の上で大切な技術というのは、どのような技術になりますか。 |
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光学技術と、超精密加工を可能にする移動と停止の制御技術の二つが必要だと思います。 |
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簡単で結構なんですけれども、光学技術とはどのような技術を言っているんですか。 |
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もともと、ステッパーというのはＩＣを作るための装置ですから、ＩＣを作るために、先ほど見せました縮小投影レンズの解像度が必要になります。要するに、ＩＣの線幅の問題になりまして、0.25ミリ以上の解像度が必要になります。これは、クォーターミクロンと言われてますけども、現在のステッパーでは0.11ミクロンから0.13ミクロンという線幅、人間の目には見えない微妙な線幅を描くことになりますので、その線を解像するための光学技術が必要です。 |
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もう一つの技術として、超精密加工を可能にする移動と停止の制御技術というのがあるようですけども、これはどんな技術ですか。 |
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先ほどのウエハに１ショット１ショット露光していきますが、そのずれを生じることなく正確にステップすることが必要になります。それには移動、要するにステップ、移動する技術と停止する技術が必要になります。これはミクロンの世界ですけども、移動というのは、秒速100ミリ/sec以上のスピードで0.2秒後に次のパターンに行かなければいけないということと、次のパターンに行ったときに停止する誤差が0.5ミクロン、１万分の５ミリという精度が必要になりますので、その比率を保つために移動と停止の技術が必要になります。 |
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（乙第49号証）を示す。
４ページと５ページを示します。２ページに渡ってしまってるんですけども、ここにステッパー完成までの工程図みたいなものが書いてありますが、これについてちょっと説明していただけます。 |
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ステッパーができる工程のことだと思いますが、まず、先ほど言った投影レンズですとかステージの各ユニットを組み立てていきます。組み立てていく作業はドッキングと申します。
ドッキング後、ステッパーが正常に動くようにいろいろな調整が入ります。それが｢総組｣と書いてあるところです。
総組が終わった時点で検査工程が入ります。検査工程を経て合格になれば、発手作業に入り出荷となります。 |
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