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納入先に行くと、今度はどうなるんですかね。 |
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出荷のときにステッパーは１回社内で分解されます。分解されて納入先に、要するにお客様先に搬入されまして、再び組付けを行いまして、総組、調整を行いまして、検査を経て、｢検収｣と書いてありますが、検収というのは、検査が完了したということを報告するために検査成績書を作成して、お客さんにデータの説明をした後、引渡しという形でお客さんに渡るわけでございます。 |
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半導体露光装置品質保証部では、ここに書かれている検査工程ということを担当されていたと。 |
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ええ。先ほど言ったようなステッパーのいろいろな技術がちゃんと確立されているか、調整されてるかというのを判定するのが我々の検査の業務です。 |
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検査の判定で合格した場合、あるいは不合格になった場合にどのようになるかを説明していただけますか。 |
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検査をしてすべて合格になった場合というのは、そのまま次の発手工程に入って出荷となりますが、もし不具合が発生して不合格な点がある場合は、その原因を出す工程に戻されまして再調整をすることになります。 |
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検査の期間というのはどのくらいですか。 |
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ステッパーというのはお客様ごとの受注生産ですので、そのお客様ごとによっても違いますが、社内検査ですと大体２日から３日、納入検査ですと２週間から３週間ということです。 |
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納入先で検査をする場合に時間がかかるのはどうしてなんですか。 |
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納入先で時間がかかるというのは、検査工程と調整工程が一体になって同時に作業を進めていきますために、時間が多少かかるということです。 |
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検査内容としてはどうですか。 |
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検査内容としては社内工程と一緒です。 |
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第二品質保証課成検係が担当していた検査とはどのようなものでしたか。 |
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大きく分けて、一般検査と言われるものとステッパーのソフトウエアを検査するソフト検査の二つが挙げられます。 |
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一般検査とはどのような検査をいうんですか。 |
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一般検査とは、先ほどから説明してますとおり、ステッパーの調整が終わった後、完成品の検査をすることです。 |
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今言われたペーパーワーク、検査報告書を書くということを言われましたけれども、もう少し説明していただくと、どのようなことをやるんですか。 |
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ステッパーは１台１台の受注生産ですので、お客さんごとに検査成績書がすべて異なります。
異なるというのは項目が異なるという意味です。そのために検査成績書を作ったり、もう一つは、不具合が生じた場合、直すために調整に不具合項目を伝えなければいけません。そのために、検査報告書というのを作成するのがペーパーワークです。 |
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