『反対尋問』

○	質問者：被告株式会社ニコン代理人
■	証人：元株式会社ネクスター社員Ｍ氏

Ａ　指示書と実際の検査

○	（甲第74号証）を示すあなたの陳述書ということで伺ってよろしいわけですね。
	■	はい。
○	２ページ、ここにいろいろ書かれているんですけれども、例えば下から３分の１程度のところに、ステッパーの露光を横一列ではなく、市松模様のようにジグザグに露光し、数値を取れという指示があるんだと書かれているんですが、あなたはこのような指示があった場合実際にどのようなことをしたというんでしょうか。
	■	指示書に従ってステッパーに露光させて検査をするということになります。
○	指示書に従うとはどういうことですか。
	■	これは顧客が求めてくる指示書というのはニコンの指示書とはまた別にありますので、この検査手順書に基づいて検査をするということになります。
○	実際問題として、あなたがする作業内容なんですけど、それはどういうことですか。
	■	実際に私がする作業としては、まず顧客の求めている作業手順を私が理解しないと検査ができませんので、その検査手順を私が理解するという作業から始まります。そのためには顧客の検査指示書というのを探しに行かなければいけませんので、成検詰所というところまで取りに行って、それを成検事務所からまたクリーンルームに、クリーン紙にコピーをして持ち込んで、そのコピー紙を見ながら検査を始めるということになります。
○	実際問題、私が聞いた内容の動作、露光作業をするに当たっては、あなたは適切なデータファイルを選んで、そのデータファイルをコマンドする、実施するということではないんですか。
	■	データファイルを選んで、今度はそのデータを取るために必要な素材というものを用意しなければいけないです。
○	素材とは何ですか。
	■	これはウエハであったりレチクルであったり、また、それに塗るためのレジスタは何を使うかとか、こういった状態になりますよね。
○	（甲第18号証の１，２）を示す甲第18号証の１、�ＮＳＲ―Ｓ１０１Ａ検査マニュアル�と書いてありますね。甲第18号証の２、�ＥＸ－ＸＫＯ（ＳＴＡＴＩＣ）検査項目�とありますね。これはニコンの熊谷製作所で使われているマニュアルというふうに聞いてよろしいですか。
	■	こちらはマニュアルですね。
○	あなたはこれを見たことありますか、この実際のもの。
	■	私が見たものとはちょっと違うようですが。
○	こういうマニュアルと似たものがあるということですね。
	■	はい。
○	例えば甲第18号証の１の３ページを開くと、一番最初は�フィデュシャルマーク�と書いてあって、データファイルがいろいろ書いてありますよね。検査員の方はこのマニュアルに従ってこのデータファイルのコマンドをする、実施すると、こういうことではないですか。
	■	こういうことではないです。
○	どうして違うんですか。
	■	これはただのマニュアルですから、これは実際の検査で使うものとはまた若干違うと思います。

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