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よく見てください。NSR−S101Aという号機についてのマニュアルなんですよ。
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はい、S101Aです。スキャン型ステッパーです。
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これについてのマニュアルで、このデータファイルに従って検査をしなさいということが事細かく書いてあるわけでしょう。
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はい。
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これに沿わずにあなたは検査をしてると、こういうことなんですか。
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これは遵守ですね。
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これは遵守するんでしょう。
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これはニコンの標準検査ということになるかと思います。
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だから、するんですよね。遵守されるんですね。
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これ以外に、お客様に合わせた検査というのがやはり存在します。
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どういう検査が存在するというんですか。
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これは、先ほどのジグザグに露光を取る、これは一括の場合ですが。
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だから、ジグザグに露光するというやり方を聞いているんですよ。ジグザグに露光するというのは、ジグザグに露光するようなデータファイルを選んで実施するというのが検査員のやることではないんですか。それ以外にあなたはやることがあるんですか。
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その検査のやり方の手順をまず私が理解しなければいけませんので。
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検査の手順を理解するというのはどういうことですか。
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その検査の条件というのは、検査の結果というのはある条件に合った手順に基づいて取らなければ結果の意味がありませんので、これはその検査の手順というのを検査員が理解しなければいけないです。
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マニュアルだってある程度理解しなきゃいけないでしょう。これは当たり前のことですね。
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マニュアルは基本です。
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当然、あなたの言うのは、更に検査手順というのがあって、それについて理解しなければいけないと、そういうことなんでしょう。
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はい、その検査手順というのはお客様に合わせたということになりますが。
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あなたは、ある号機について検査をするという場合は、その号機に付きっきりになって検査するわけでしょう。
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はい。
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その号機というのは、当然お客様からの受注生産だから、お客様のその規格に沿ったものを作ると、こういうことでしょう。
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はい、さようです。
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そうなると、その号機に合った検査手順があるんだと、こういうことですわね。
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はい。
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当然、その号機を検査するんだから、マニュアルあるいはその検査手順をある程度理解しなきゃできないのは当たり前ですわね。
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はい。
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(甲第74号証)を示す この2ページの下から3行目のところにレンズディストーションのことが書かれてますね。このレンズディストーションの場合も、検査に使うレーザーの種類に対応してレジストが決まっていると、そういうことではありませんか。
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これはレーザーの種類というよりは、そのレンズディストーションを求める精度とかお客様の求めてくる規格ですね。
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あなたの言うそのレンズディストーションの検査方法って何個あるんですか。
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これはお客様に合わせてその数あります。
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ニコンの熊谷製作所は現在2つしかやってないんですけど、そういうことじゃないですか。
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そういうことではないです。
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あなたの記憶は全然違うんですかね。
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ええ、レンズディストーション、これはレンズで露光したときの像のゆがみなんですが、これはやはりお客様の求めてくる精度というものがお客様ごとに違いますので、これはお客様の数だけあると考えてよろしいかと思います。
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何がお客さんの数だけあるんですか。
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これはレンズディストーション、レンズのゆがみの規格ですね。
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規格の話ですか。
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はい。
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方法は。
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方法もこれはあると考えて間違いないと思います。
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じゃあ方法は何個あるんですか。
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方法はお客様の数だけあります。
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そんなにありますか。
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はい。 |