『反対尋問』

Ｄ　レジストの塗布作業

○	それから、甲第74号証の３ページ、あなたはここでレジストの塗布に関する話をしてるんだけど、あなたはここではスピンコーターという名称を使ってますけど、これは当時熊谷製作所で使われてましたか。
	■	使われてました。
○	熊谷製作所ではコーターとは言うけどスピンコーターとは言ってないと言ってるんだけど、どうでしょうか。
	■	お客様のところに行けばスピンコーター、コーターですよね。同じことと考えてよろしいかと思いますが。
○	いや、それは同じ機械を指してることは分かるんだけど、一般的に使ってる名称の話をしてるんですよ。熊谷製作所ではコーターと呼ぶことはあってもスピンコーターと呼んでいないと、ニコンは一般的にそういう使い方をしてるんだと言ってるんだけど、あなたがここでわざわざスピンコーターと書いてるのは、どうしてそういう一般的に使われない使い方をしてるのか疑問だから聞いてるんですけど、どうですか。
	■	スピンコーターと書いたほうが分かりやすいと思いますが。
○	それから、レジストを手で塗るときの話をしてるんですけど、レジストを手動で塗るという際に検査員が行う実際の作業は何ですか。
	■	実際の検査員が行う作業、これは事細かく説明してよろしいんでしょうか。
○	事細かく説明しなくていいです。簡単に、概略。足りなかったら聞きますから。
	■	簡単に、概略でしたら、レジストを手で塗るということになりますが。
○	手で塗るというのは、別に、手のひらでびしゃっと塗るわけじゃないですよね。
	■	ええ、そういうわけではないです。
○	回っているウエハの上にレジストを流し込むだけでしょう。
	■	レジストを測ったり用意したりという作業が付随しますが。
○	レジストを選ぶ作業があるっていうの。
	■	はい。もちろん、そのレジスト自体、その保管する条件なりありますので。
○	だけど、それはあなたは保管してないわね。
	■	私は保管してませんが。
○	だから、検査員の仕事じゃないでしょう、それは。
	■	検査員の仕事ではないですね。保管は違います。
○	それから、検査員が、塗布されたレジストの状態について、これが規格に合ってるとか合ってないとかこういう検査をする過程はないでしょう。
	■	その規格に合っているか合っていないかという検査というのはどういう質問と理解してよろしいんですか。
○	あなたの陳述書によると、�ナノ・レベルの精度が必要なわけですから、そのレベルに必要な条件で塗られるかは、人間の目にわかるはずもありません。�というのが４ページの上から４行目に書かれてるんだけど、検査員の人が、ちゃんと塗られているかどうかということを検査する過程というのはないですよね。
	■	その計測に使うためのウエハを検査するということは不可能ですが。
○	だから、ないでしょう。
	■	実際の検査の場合ということでしょうか。
○	いや、そうじゃなくて、ウエハにレジストを塗る際に、うまく塗られてるか塗られてないか検査員がわざわざ検査するということはないでしょう。
	■	ちょっと質問の意味が。実際に本当に膜厚が求められた場合ですよね。
○	手短にお願いしたいんですけど、手動でウエハにレジストを塗る場合に、これでうまく塗れたのか、それともうまく塗れてないのか、それを検査員が検査するという作業はありませんね。
	■	場合によってはありますが。
○	どういう場合ですか。
	■	これはお客様によるんですが、あるお客様ですと、めったに来ない依頼ですので、例えば５枚とか10枚とかまとめて、１枚を抜いてレジストの係の方に持っていって、その方に膜厚を調べてもらうということがあったりしますが。
○	検査員が検査する作業はありますかと聞いてるんですよ。レジストの係じゃないですよ。
	■	レジスト係も検査員ですので。
○	そういうことがあるんですか、本当に。
	■	ええ、私が検査を依頼するということになりますよね。
○	あなたは実際に検査したことはないんですね。
	■	私が膜厚を直接測るということは、これはないです。直接ウエハを私が顕微鏡なり検査の機械にかけるということ、これはまずないですね。

<<前のページへ

目次へ

次のページへ>>