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レーザーの種類って、あなたの記憶では何種類ありますか。 |
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これ、レーザーの種類と書いてありますが、レーザーの種類は私がやっていたのはエキシマレーザーというものになります。 |
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今ニコンの熊谷製作所はあなたが言ったエキシマレーザーとアルゴンレーザーという２つのレーザーを使った検査しかやってないわけですよ。その検査の中で、それぞれのお客様が求めている精度、規格が違うから、その規格に合ってるか合ってないかは検査員がチェックすると、こういうことだったんじゃないんですか。 |
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検査員がチェックする・・・。 |
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数値が規格に合ってるかどうかチェックするということじゃないの。分かりますか、言ってること。 |
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もう一度お願いします。 |
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規格は当然いろいろあるわけですよ。それは別に検査員の検査が大変になる要素じゃないでしょう。 |
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いや、その規格を取るための手順というのはやはり決まっていますので。 |
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だから、私が聞いているのは、今ニコンの熊谷製作所では２つのレーザーを使ってやってるわけです。あなたが検査員だったころに、レジストを選ぶ、あなたが言ってるレーザーの種類を選ぶ、そのほかに何をやるんですか。 |
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これはやはりまずお客様の規格を理解して、その方法で取って、その検査方法が合っているか、またその検査結果がお客様の求めている規格に合致しているか、そういうことです。 |
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検査方法というのは、先ほどから言ってるように、マニュアルあるいはあなたが言う規格手順書に書いてあるデータファイルを選んで実行するだけでしょう。あなたはそのほかに何かしますか。 |
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そのデータファイルを選ぶという作業と、そのデータファイルを実行するという作業の中にまた細かくあるんですが。 |
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何があるんですか。 |
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まずデータファイルを選ぶという作業の中に、そのデータが何を求めているか、もちろん１つではないですから。 |
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だけど、書いてありますわね。 |
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それは書いてないと私たち検査員は検査ができませんので。 | |