『反対尋問』

Ｇ　精度の計測・検査結果

○	それから、あなたは陳述書の中で、ほとんどの検査項目についてステッパーとは別の検査機械で精度を計測しますと、こういうふうに述べてますよね。これは本当にそうですか。
	■	これ、精度を計測する場合もあるということになります。
○	どういう場合ですか。
	■	これはステッパー自身で計測できない場合ですよね。
○	だから、それはどういう場合ですか。
	■	これはステッパーの計測精度がお客様の求めている精度に追い付いていない場合とかになるかと思うんですが。
○	あなたの経験ではどういう場合があったんですか。
	■	私の場合では、これはスキャン型のレンズディストーションとかになると思うんですが。
○	今現在ニコンの熊谷製作所では、ほとんどというか、１点だけ除いては、すべてステッパーで精度を計測してるんですが、あなたの記憶もそうではありませんか。
	■	いえ、私の記憶では、スキャン型、これ、レンズディストーションは、これはウエハを計測する機械で、ディストーションを計測していましたから。
○	あなたの記憶としてはそうだというの。
	■	はい。
○	レンズ性能に関する精度というのはレンズディストーションも含むんでしょう。
	■	はい。
○	レンズ性能に関する精度の計測というのは、あなたがおっしゃったように、ステッパーで計測してないんですよ。そのほかの検査項目はすべてステッパーで精度を計測してるんではありませんか。
	■	ステッパーで計測しています。でも、ステッパーで計測できるものはということになりますよね。
○	ですから、レンズ性能に関する精度以外については。
	■	性能以外と全部くくってしまうと、これはまた別なものになってしまうと思うんですが。
○	だけど、実際問題、今そういうふうにやってると聞いてるんですよ。そうじゃありませんか。
	■	ステッパーの性能として、ステッパーで露光したものをステッパーで計測するというのはやっていますが。
○	それから、検査結果なんですけど、これはパソコンのいわゆるモニター、ディスプレイ上に表示されるということではありませんか。
	■	表示されますね。計測値は表示されますね。
○	（乙第46号証、乙第47号証）を示す　　　コンピュータのディスプレイ上に表示されたものの例なんですけど、これは乙第46号証ですが。
	■	これは均一性ですね。
○	照明度の均一性ですね、これは。
	■	はい。
○	乙第47号証は分かりますか。
	■	これは重ね合わせだと思うんですが。
○	ステッピングの精度の問題でしょう。
	■	ここに�ＳＴＥＰ＆ＢＡＣＫ�と書いてありますね。はい。
○	乙第46号証の右上のところには数値が出ていますね。
	■	はい。
○	乙第47号証の右上のほうにも数値がいろいろ出てますわね。
	■	はい。
○	検査結果というのはこのようにディスプレイ上に表示されるものじゃありませんか。
	■	これは計測値が出ているということですね。ウエハを実際に測った値がこういうふうに出るということですよね。
○	例えば、あなたの記憶で結構なんですけど、照明度の均一性で必要となる数値はこの中にないですか。
	■	まず、このデータが計測値なので、このデータをまた計算して、お客様の求めている値に計算し直すということがあるかと思うんですが。
○	例えばどういう計算をしたことがあるんですか。
	■	これだとパーセントで出してますので、照明度はこれはパーセントでいいかと思うんですが。
○	乙第47号証はどうですか。更にあなたが計算するようなことがあるんですか。
	■	これはステッピングですね。・・・・・。
○	右のほうにある数値が規格に合ってるか合ってないかということが検査結果であって、それ以上に検査員の方は何らかの計算をするということはないんじゃないですか。
	■	これはステッピング精度ですね。ステッピング精度でこの値はそのまま使えたと思うんですが。
○	こういうふうに多くの検査というのはディスプレイ上に出てくる数値そのもので検査結果が分かるものがほとんどじゃないですか。
	■	ステッピング精度と照明ですよね。ええ。
○	ステッピング精度だけじゃなくて、あなたが検査員として検査を担当されてるときにいろいろ計算をされたというふうなことをおっしゃっておられるから、本当にそんなことがあるのかどうかという観点から聞いてるんですよ。大体の検査というのは、コンピュータのディスプレイ上に出てくる数値をチェックしていくという作業だけだったんではないですか。
	■	それをチェックして、その１つとしてチェックシートには書きますが、あとお客様の規格があればお客様に合わせてその値を書き直さなきゃいけないと思うんですが。
○	ちょっと意味が分からないんですけど、どういう意味ですか。
	■	お客様の求めている、お客様用のチェックシートと考えていただいたらよろしいかと思うんですが。
○	そのときには何か計算することがあるというんですか。
	■	計算はこれはします。
○	先ほど示した乙第46号証、乙第47号証、この場合もあなたはそういう計算をしたことがあるんですか。
	■	ステッピングと照明の均一性はそのまま書いていたと思うんですが。

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